1引言渦旋的概念相當久遠,20世紀初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術的專利。但由于當時技術水平的限制,渦旋機構制造不出來,渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出第一臺模型機構,使這項技術實際應用成為可能。渦旋機構的可靠性高、運行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求,大受行業(yè)領先者青睞,迅速被投入工業(yè)化應用。trance、hitachi、copland等著名公司的渦旋壓縮機技術與產(chǎn)品弓領了世界渦旋技術實用化的浪潮,帶動了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術進步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。今天渦旋技術已經(jīng)由初期的應用在壓縮機行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè),實現(xiàn)了全無油、運行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術的實用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環(huán)境沒有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標均優(yōu)于普通油泵的單級、雙級渦旋無油真空泵系列產(chǎn)品。上個世紀90年代初,世界上首臺渦旋真空泵推向市場,渦旋技術由此開始作為一種新型真空獲得技術在世界范圍內(nèi)被推廣應用。到目前為止,世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在美國、日本和歐洲,以日本的anest1wata、美國的varian、德國的bush等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25l/s-1ol/s系列產(chǎn)品,有些15l/s或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗階段。2渦旋無油真空泵(0-ifreescrollvacuumpump)的特點與應用領域清潔的真空環(huán)境一直是科學家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果。時至今日,清潔真空獲得設備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當中,渦旋無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點并已經(jīng)被廣泛應用到下述科學研究與生產(chǎn)領域:①半導體行業(yè)――薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;②真空冶金行業(yè)――真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備;③科學儀器行業(yè)――同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;④醫(yī)療設備――牙科儀器、透析機;⑤生物制品行業(yè)――材料提純、藥品制備;⑥包裝行業(yè)――食品、藥品、生物制品等包裝設備。3渦旋無油真空泵工作原理、技術指標以及與普通油泵的對比渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了渦旋無油真空的基本抽氣機構。例如在雙級渦旋無油真空泵中,有兩個方向?qū)墓潭u旋盤,一個位于兩個渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。眾所周知,渦旋無油真空泵(oilfreescrolivacuumpump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點。下面以普通旋片真空泵為例,說明其差別:表1渦旋無油真空泵與普通直聯(lián)式旋片真空泵技術指標的對比技術指標旋片式油真空泵渦旋無油真空泵抽速(l/s)2.0,4.0,82.0,4.4,8.7極限真空度(pa)0.61.0使用壽命(h)4000040000大修間隔(h)800010000冷卻介質(zhì)油空氣噪聲(db)7560質(zhì)量(kg)7041電機相數(shù)31電壓(v)220/380220功率(kw)1.10.6轉(zhuǎn)數(shù)(r/min)140014374渦旋無油真空泵的優(yōu)點及其能給用戶解決的問題4.1渦旋無油真空泵性能優(yōu)越渦旋真空泵的主要優(yōu)點是間隙曉、泄漏少,具有較高的壓縮比,在較寬的陋力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速,工作壓力范圍寬;由于壓縮腔容積的變化市連續(xù)的,因而驅(qū)動扭矩變化小,功率變化小,振動噪聲低,可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。4.2渦旋無油真空泵解決了污染與振動等基礎、共性問題由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良